1100℃滑軌式管式爐
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達(dá)到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
所屬分類：
關(guān)鍵詞： 1100℃滑軌式管式爐
產(chǎn)品描述
特點(diǎn)
● 工作溫度范圍：RT~1000°C。
●額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；監(jiān)控系統(tǒng)（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；選件需配置拓展柜體。
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號 | 最高溫度 | 管徑 | 加熱區(qū) | 溫區(qū)數(shù) | 熱電偶 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-90/11/1 | 1100℃ | 90mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-100/11/1 | 1100℃ | 100m | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-110/11/1 | 1100℃ | 110mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
注：給出的最高溫度為工作管外測定，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。
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